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快速刀具定位器可進(jìn)行防塵防液滴處理，使其能工作在濕度環(huán)境。

定位器臺體材料采用不銹鋼材質(zhì)以加工過程中的穩(wěn)定性，可以結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。

快速刀具定位臺采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電納米定位臺出力的幾倍。

不同于振動加工，刀具位置可以通過內(nèi)置傳感進(jìn)行 反饋控制，實(shí)現(xiàn)納米級分辨率。

尾綴K-開環(huán)

運(yùn)動自由度

X

X

X

運(yùn)動和定位

標(biāo)稱行程范圍（0~120V）

95

95

95

µm±20%

行程范圍（0~150V）

118

118

118

µm±20%

傳感器類型

CAP

-

分辨率

15

20

10

nm，typ.

閉環(huán)線性度

0.1

0.15

-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.03

0.05

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<20

<20

<20

µrad

機(jī)械性能

運(yùn)動方向推/拉力

300/25

300/25

300/25

N

運(yùn)動方向剛度

3

3

3

N/µm±20%

空載諧振頻率

0.2

0.2

0.2

kHz±20%

空載階躍時(shí)間

30

30

7

ms±20%

空載工作頻率*

10%行程

50

50

>50

Hz±20%

行程

10

10

>10

承載能力

20

20

20

Kg

驅(qū)動性能

靜電容量

15

15

15

μF±20%

其他

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

-20~80

°C

材質(zhì)

鋼

鋼

鋼

外形尺寸（長×寬×高）

120×60×60

120×60×60

120×60×60

mm

重量

3500

3500

3500

g±5%

出線長

1.5

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器***

LEMO

LEMO

LEMO