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產品名稱:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

產品型號:P84.X 一維X軸 110μm

產品報價:

產品特點:P84.X一維X軸壓電宏微復合臺:
P84為標準測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷機構相結合,通過手動調節(jié)大范圍的測微頭實現13mm大范圍的移動,再通過控制驅動電壓,使壓電陶瓷機構相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節(jié)。

更新日期:2021-03-23

P84.X 一維X軸 110μmP84.X一維X軸壓電宏微復合臺的詳細資料:

P84.X一維X軸壓電宏微復合臺

宏微復合機構是通過宏動調節(jié)測微頭與壓電微動調節(jié)機構完成大范圍精密定位需求。

通過測微頭與壓電微調機構相結合的方式實現宏微復合機構,宏微復合機構可以與宏動平臺配合使用,組成大行程高精度壓電平移臺

 

P84.X一維X軸壓電宏微復合臺技術參數

型號

P84.X100S

P84.X100K

單位

運動自由度

X

X

 

行程范圍

13mm+110µm

13mm+110µm

粗調+精調

平直度

<3

<3

µm/13mm

重量

400

400

g±5%

殼體材料

鋼、鋁

鋼、鋁

 

外形尺寸(長×寬×高)

140×90×23

140×90×23

mm×mm×mm

手動調節(jié)部分-千分尺

粗調行程范圍

13

13

mm

粗調分辨率(千分尺)

10

10

µm

導軌

交叉滾柱導軌

交叉滾柱導軌

 

驅動方式

螺紋副(分厘卡)

螺紋副(分厘卡)

 

千分尺靈敏度

<2

<2

µm

臺面尺寸

65×65

65×65

mm×mm

千分尺讀數

10

10

(微米/格)

千分尺螺距

0.5

0.5

mm/rev.

壓電驅動精調部分-壓電驅動

精調行程范圍

0~120 V,Nominal

80

80

µm±20%

-20~150 V,Max

110

110

µm±20%

傳感器類型

SGS

-

 

步進/分辨率

7

2.5

nm, typ.

閉環(huán)線性度(壓電驅動)

0.1

-

%F.S.

重復定位精度

0.05

-

%F.S.

運動方向推力

16

16

N

剛度

1

1

N/µm±20%

承載能力(Z向)*

500

500

g

工作溫度范圍**

-20~80

-20~80

°C

靜電容量

1.8

1.8

µF±20%

出線長

1.5

1.5

m±10mm

傳感/電壓連接器

LEMO

LEMO

 

 

注:壓電驅動的標稱行程是在 0~120V 的驅動電壓下的位移行程,大驅動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅動電壓在
0~120V。

以上所提參數與測試環(huán)境及測試設備有關。參數更新不予通知,具體請與銷售工程師聯系確認。

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