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產品名稱：CAP電容測微儀系列

產品型號：

產品報價：

產品特點：CAP電容測微儀系列通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

更新日期：2021-10-15

CAP電容測微儀系列的詳細資料：


E09.Cap電容非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

CAP電容測微儀系列特性：

• 模塊化設計、自由組拼

• 可提供單個板卡模塊

• 高分辨率 • 模擬輸出

• 非接觸式測量

原理

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時，傳感器仍是線性的。

應用：

• Z向水準測量 •  X, Y向定位

• 軸向振動測量

• 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器


CAP電容測微儀系列技術參數(shù)

型號

E09.Cap

單位

量程范圍

0~200

μm

線性度

±0.1

μm

靜態(tài)分辨率

2.5

nm

動態(tài)分辨率（1kHz）

100

nm

傳感器直徑

10

mm

小目標直徑

10

mm

靜態(tài)重復性

5

nm

信號溫度穩(wěn)定性

＜ 0.005

%FSO/℃

長期穩(wěn)定性

＜ 0.04

%FSO/ 月

帶寬

2

kHz（-3dB）

工作溫度范圍

+10~+50

℃

環(huán)境濕度

<85

%

電壓輸出范圍

0~+10

V

供電電壓

220VAC 50Hz±10%


傳感器線長

1.6

m

板卡尺寸：長×高× 深

35×130×180

mm

機箱尺寸：長×高× 深

280×170×360

mm


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