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芯明天直驅(qū)機構(gòu)式壓電納米定位臺特性

1~3維自由組合

大行程68μm

大承載5kg

重復(fù)定位精度可達0.05%F.S.

亞毫秒響應(yīng)時間

1-3維平移臺

XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運動結(jié)構(gòu)。多種規(guī)格型號可選。
柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。

體積小、剛度大、響應(yīng)速度快、閉環(huán)精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時間可以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應(yīng)時間僅為5ms。

XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過 PID 算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。

芯明天直驅(qū)機構(gòu)式壓電納米定位臺應(yīng)用實例

采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。