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產(chǎn)品名稱:芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):P77Z

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái) P77壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程,無(wú)摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率,閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí),是光學(xué)移相器的選擇。

更新日期:2022-11-17

P77Z芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)的詳細(xì)資料:

   芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P77系列壓電掃描臺(tái)為一維Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái),壓電平臺(tái)中心為106mm大通光孔,壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu),內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程,無(wú)摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率,閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí),是光學(xué)移相器的選擇。

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺(tái)P77壓電掃描臺(tái)典型應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測(cè)

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 干涉/計(jì)量

• 精密定位

• 移相器 •

 光學(xué)捕獲

應(yīng)用案例

大孔徑、大承載、高諧振頻率

P77系列壓電掃描臺(tái)采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì), 利用有限元分析優(yōu)化, 剛度可達(dá)8 N/ μm,空載諧振頻率 300Hz。

閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器,對(duì)位移實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)反饋,可 實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的重復(fù)定位精度及線性度。

壓電掃描臺(tái)中心106mm的大通光孔,該產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于激光平面干涉儀等設(shè)備。

芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級(jí)分辨率、高精度等特 點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中,大大提高了干涉儀的測(cè)量精度。

P77壓電掃描臺(tái)特性:

Z軸運(yùn)動(dòng)

• 大行程20μm

• 大承載5kg

• 通孔直徑:Ø106mm

技術(shù)參數(shù):

 

型號(hào)

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán)

 

P77.Z20S P77.Z20K

 

單位

運(yùn)動(dòng)自由度

Z

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

14

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

20

μm±20%

傳感器類(lèi)型

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø106

mm

閉/開(kāi)環(huán)分辨率

1/0.5

nm

閉環(huán)線性度

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)

<10

µrad

推/拉力

120/50

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度

8

N/μm±20%

空載諧振頻率

300

Hz±20%

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間

5/2.5

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

60

 

Hz±20%

行程

10

大承載

5

kg

靜電容量

5.4

μF±20%

材質(zhì)

 

重量

1600

g±5%

 

 

 

 
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