產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺
產(chǎn)品型號:P-18系列
產(chǎn)品特點:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應用。
更新日期:2021-03-23
芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P-18壓電掃描臺為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm 的高速掃描,大通光孔徑為Ø35mm,多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇,適用于大行程多維掃描等應用。
芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺P-18壓電掃描臺特性
• 大位移370μm
• 大承載3.5kg
• 通孔直徑:Ø35mm
• 閉環(huán)重復定位精度高 • 響應速度快
1~3維掃描臺
P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式,可以 滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。
大位移、大承載、高剛度、高頻響
P18系列壓電掃描臺內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,可以 實現(xiàn)大370μm的掃描范圍,運動直線性好,可選擇閉環(huán)版 本獲得優(yōu)異的線性度與重復定位精度。
P18采用*的結(jié)構(gòu)設計,具有大剛度、大出力、大承 載等特點,大承載達3.5kg,空載諧振頻率達600Hz,配 套芯明天大功率控制器響應時間可達5ms,是精密加 工、半導體制造、掃描顯微等應用。
P-18壓電掃描臺典型應用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 掃描顯微
• 干涉/計量 • 表面檢測
• 半導體測量 • 光學計量
應用實例-納米光刻
在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動,從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。
P-18壓電掃描臺技術參數(shù):
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